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传感器热转换系数与不同气体流量之间的换算

2013-12-02 10:19

    目前,可按照用户实际使用的气体介质标定质量流量计,也可采用标准氮气或空气进行标定。通常是根据用户实际使用气体的流量转换成氮气或空气的流量后进行标定。用户在使用产品时,直接显示输出的流最即是该用户实际使用气体介质的质量流量。
    不同气体介质流从的换算,是通过传感器热转换系数进行的,单一组分气体的传感器热转换系数可从使用说明书中查得。混合性气体介质的传感器转换系数通过公式计算求得。
    (1)空气与单一组分气体的换算公式:

式中,V1为气体1占体积的百分比;V2为气体2占体积的百分比;V3为气体3占体积的百分比。
例  需用He,20%,传感器转换系致1.39;CL2,80%,传感器转换系数0.83;满量程20slpm,则

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